| 主な仕様 |
| ◆機器名 |
日本電子（株） JSM-5300LV |
| ◆分解能 |
高さ方向 |
0.01μｍ |
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水平方向 |
0.13μｍ |
| ◆分解能 |
4.5nm（30kv,WD=8mm） |
| ◆倍率 |
x15(WD=48mm)～200,000（25段） |
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デジタル表示、倍率自動補正装置（MAC) |
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内蔵倍率メモリ組み込み |
| ◆像の種類 |
2次電子像、反射電子像 |
| ◆試料傾斜補正 |
約0～85°補正可能 |
| ◆電磁視野移動 |
全方位+/-10μm |
| ◆試料寸法 |
10mmφx10mmh,32mmφx10mm |
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10mmφx10mmh,（20個入り用） |
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51mmφx10mmh,76mmφx10mm |
| ◆試料交換 |
ステージ引出式
（材料ホルダはスライド式で脱着可能） |
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