| 施設 | 鳥取県産業技術センター |
|---|---|
| 利用タイプ | 利用可能機器 |
| 概要 | 電子顕微鏡は、電子線を用いて対象物を観察する装置で、光学顕微鏡に比べて焦点深度が深く、高倍率(高分解能)に観察することができます。
付属の元素分析装置で観察部位の成分分析を行うことで、対象物を非破壊で観察・分析できるため、製品や部品に付着した異物や変色箇所の分析にも適しています。 また、本装置は「大型チャンバー」を搭載しており、大型の試料ステージ（300mm φ）を用いることで、自動車・航空機部品などの大型試料を非破壊で観察や分析が可能です。 その他、樹脂成形品などの導電性のない試料でもコーティングなしで観察や分析ができる“低真空モード機能”や視野探しの際に目的とする元素の分布状態を観察と同時に分析・表示が可能な“リアルタイム元素マッピング機能”を備えております。 |
|---|---|
| 主な仕様 | 【メーカー】 日立ハイテク（本体）
オックスフォード・インストゥルメンツ（元素分析部） 【型 式】 SU3900（本体） Aztec Live ULTIM MAX（元素分析部） 【仕 様】 ・加速電圧： 0.3 ～ 30kV ・電子銃方式：タングステン熱電子銃 ・搭載可能試料サイズ：最大300mm φ 高さ130mm ・分解能： 3.0nm (30kV 二次電子像） ・倍率：× 5 ～× 300,000（写真倍率※１） ・元素分析検出器タイプ：エネルギー分散型 ・リアルタイム元素マッピング機能 ・大面積マッピング機能 ※１ １２７ mm ×９５ mm（４×５写真サイズ）を表示サイズとして倍率を規定 |
| 機器使用料 | 1,200 円/時間 |