微小部光電子分光装置(μXPS)

施設	米子工業高等専門学校
利用タイプ	利用可能機器

概要	微小部光電子分光装置(μXPS)
主な仕様	島津Kratos製 Axis-Ultra (Arガスクラスターイオン銃付)"
用途	電気・電子材料および電子回路の電極界面における酸化・還元状態を非破壊で調べることができる装置です。また、マイクロメータ微小領域における電気の流れ易さの判定も可能です。そのため、電子回路の故障原因等を調べる手法としても利用できます。
利用料	6,500円/ｈ

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