| 概要 |
| ◆ |
基板上の硬質薄膜に対して、ダイヤモンド圧子で一定荷重あるいは連続的に荷重を変化させながら引っ掻いて（スクラッチして）測定します。 |
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| 主な仕様 |
| ◆メーカー |
CSM Instruments SA |
| ◆型 式 |
Macro(Revetest) |
| ◆荷重範囲 |
0～200N
（荷重分解能 3mN） |
| ◆荷重負荷速度 |
10～500N/min |
| ◆スクラッチ速度 |
0.4～600mm/min |
| ◆最大スクラッチ距離 |
70mm |
| ◆最大スクラッチ深さ |
1mm（深さ分解能 1.5nm） |
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| こんなことができます |
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| 機器の利用について |
| ◆連絡先 |
機械素材研究所 無機材料科 |
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TEL |
0859-37-1811 |
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FAX |
0859-37-1823 |
| ◆機器使用料 |
700円／時間 |
経済産業省平成24年度地域企業立地促進等共用施設整備費補助金事業 |
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