| 概要 |
| ◆ |
圧子を微小荷重で試料に押し込み、そのときの押込み深さを高分解能の変位計で連続的に測定して、試料表面の力学的特性を評価します。 |
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| 主な仕様 |
| ◆メーカー |
（株）エリオニクス |
| ◆型 式 |
ENT-1100a |
| ◆荷重範囲 |
10mgf(98μN)～
100gf(980mN) |
| ◆押込み深さ分解能 |
0.4nm |
| ◆試料サイズ（最大） |
φ50mm×t10mm
(試料台使用時) |
| ◆試料加熱 |
max250℃に加熱可能 |
| ◆多点自動測定 |
最大1000点の自動測定が可能 |
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| こんなことができます |
| ◆ |
薄膜やごく表面層の硬さ、弾性率（ヤング率）を測定することができます。 |
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| 機器の利用について |
| ◆連絡先 |
機械素材研究所 無機材料科 |
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TEL |
0859-37-1811 |
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FAX |
0859-37-1823 |
| ◆機器使用料 |
600円／時間 |
経済産業省平成24年度地域企業立地促進等共用施設整備費補助金事業 |
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