| 概要 |
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微細形状の凹凸観察に威力を発揮
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◆製品・部品の形状を非接触に観察及び測定評価を行うことができます
◆金属材料に限らず、今まで観察評価が困難であった樹脂成型品やゴム等の微細な製品・部品・加工状態を迅速かつ高精度に評価できます |
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広範囲な測定対象物に対応可能
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◆高さ方向最大100mm、水平方向最大100mmまでの測定対象物に対応できます |
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多彩な解析機能で評価が可能
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◆3次元表示、濃淡図、形状ライン等の評価が可能です
◆3次元CADソフト（Pro Engeneering）により3次元に表示し、図面化することができます
◆計測した点郡データを3次元サーフェスソフト（RapidForm)を用いてモデリングするこができます
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| 主な仕様 |
| ◆機器名 |
（株）キーエンス VK-9500 |
| ◆分解能 |
高さ方向 |
0.01μｍ |
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水平方向 |
0.13μｍ |
| ◆最大観察倍率 |
3,000倍 |
| ◆測定用光源 |
408nmバイオレットレーザ |
| ◆測定項目 |
長さ、高さ、角度、表面積、体積、
粗さ（線粗さ、面粗さ） |
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| こんなことができます |
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| 機器の利用について |
| ◆連絡先 |
機械素材研究所 計測制御科 |
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TEL |
0859-37-1811 |
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FAX |
0859-37-1823 |
| ◆機器使用料 |
600円／時間 |
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テーパ状チューブの測定例
3次元CADデータとの比較
プリント基板穴断面
3次元モデリング