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高精度輪郭形状測定機
高精度輪郭形状測定機
施設
鳥取県産業技術センター
利用タイプ
利用可能機器
概要
微細部品の輪郭形状を高精度に測定評価
◆製品・部品の輪郭形状測定評価をサブミクロンオーダーで行うことができます
◆測定したデータを形状解析ソフトで評価、3D表示も可能
多彩な触針で各種測定物に対応
◆深溝用、微細穴用、40°交角触針など測定対象に応じたスタイラスが使用できます
広い測定範囲と同時に表面粗さ測定可能
◆測定範囲10mm(最大25mm)において輪郭形状測定と同時に表面粗さ測定も可能です
主な仕様
◆機器名
(株)テーラーホブソン PGI-Plus
◆分解能
0.8nm(10mm範囲)
◆真直度精度
0.06+0.037Xμm(X:測定長さ(mm))
◆X軸測定範囲
120mm
◆Z軸測定範囲
10mm(60mm触針)、
◆電磁視野移動
20mm(120mm触針)、
25mm(150mm触針)
こんなことができます
◆測定例
測定曲線
形状解析結果例
機器の利用について
◆連絡先
機械素材研究所 計測制御科
TEL
0859-37-1811
FAX
0859-37-1823
◆機器使用料
400円/時間
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