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グロー放電発光分光分析装置（GDS）

グロー放電発光分光分析装置（GDS）

施設	鳥取県産業技術センター
利用タイプ	利用可能機器

概要

	薄膜の評価に威力を発揮

	◆薄膜材料を表面からスパッタし元素分析を行います。そのため、表面からの元素分布や膜の不良などが一目瞭然です。

	測定時間の短縮

	◆ESCA、SIMSなどに比べ非常に簡便な操作により測定が可能です。また、超高真空系を必要とせず、測定時間も短いために数多くのサンプルが測定可能です。
	◆試料の導入は大気中でＯＫ。

主な仕様

◆機器名		（株）堀場製作所　JY-5000RF
◆検出可能元素		H, Li, Be, B, C, N, O, Na, Mg, Al, Si,P, S, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Se, Zr, Nb, Mo, Rh, Pd, Ag, Cd, Sn, Sb, Ta, W, Pt, Au, Pb, Bi
◆回折格子		2400本/mm
◆データ		紙、ASCII、Excel（フロッピー）

こんなことができます

◆測定例
		測定例

機器の利用について

◆連絡先		機械素材研究所　無機材料科
		TEL		0859-37-1811
		FAX		0859-37-1823
◆機器使用料		1600円／時間

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