| 主な仕様 |
| ◆機器名 |
（株）日立サイエンスシステムズ S-3500H |
| ◆倍率 |
15～300,000倍 |
| ◆分解能 |
3.0nm |
| 【EDX】 |
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| ◆機器名 |
（株）堀場製作所 EMAX 7490-H(EDX) |
| ◆倍率 |
15～300,000倍 |
| ◆分解能 |
133eV |
| ◆データ |
紙、jpeg、bmp（メモリースティック、
コンパクトフラッシュ、SDーカード） |
| 【WDX】 |
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| ◆機器名 |
（株）オックスフォード・インストゥルメンツ INCAWAVE(WDX) |
| ◆倍率 |
15～300,000倍 |
| ◆分解能 |
±0.000014nm |
| ◆データ |
紙、jpeg、bmp（メモリースティック、
コンパクトフラッシュ、SDーカード） |
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